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产品分类
产品简介
● 带有信号反馈和可靠的碰撞保护功能。
● 磁流体中间环节保证腔体内部真空压力与洁净。
● 手动放取物料，边缘定位。
● 运动范围：**到达距离 310mm(距腔口外侧)。
● 重复精度：±0.2mm。
● 真空度：＜5x10-9 Torr。
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合肥微芸半导体科技有限公司