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产品分类
产品简介
● 六边形真空传输腔，*多支持4个工艺腔。
● 满足半导体标准的配方驱动及管理软件控制系统，符合SEMI标准。
● 传输平台系统漏率≤2mTorr/min。
● VCE/TM腔体抽真空到10mTorr≤180s。
● 两个VCE单次VCE放片量≤25片
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